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农业网站建设方案 ppt,网站开发公众号开发,在线编辑ppt的网站,开封市住房和城乡建设局知识星球#xff08;星球名#xff1a;芯片制造与封测技术社区#xff0c;星球号#xff1a;63559049#xff09;里的学员问#xff1a;听光刻的老师傅说#xff0c;光刻胶的旋涂一般会遵循特定的旋涂曲线规律#xff0c;可以介绍下旋涂曲线的相关知识吗#xff1f;什…知识星球星球名芯片制造与封测技术社区星球号63559049里的学员问听光刻的老师傅说光刻胶的旋涂一般会遵循特定的旋涂曲线规律可以介绍下旋涂曲线的相关知识吗什么是旋涂曲线如上图是AZ P4000系列光刻胶的旋涂曲线。旋涂曲线是描述光刻胶在旋涂过程中膜厚度随旋转速度变化的关系曲线。通过调整旋涂速度可以控制最终沉积在基片上的光刻胶膜厚度。通常来说旋涂速度越快沉积的膜厚度越薄反之亦然。一般来说不同的光刻胶旋涂曲线是不一样的。影响光刻胶膜厚的因素有哪些1旋涂速度较高的旋涂速度旋的胶更薄低速则会导致较厚的膜。膜厚度与旋转速度的平方根成反比。2光刻胶的种类与固含量就像人有高矮胖瘦光刻胶也有稠有稀。固含量高胶稠相同转速下的厚度更厚。3湿度温度这两个主要影响光刻机在旋涂中的蒸发速度。4机台构造。比如加盖与不加盖以及盖子距离旋转台的体积等对光刻胶的厚度具有巨大影响。如何确定光刻胶旋涂曲线1供应商给2自己测供应商给的只是在理想状态下不太精确但是能得到大概趋势。可以针对自己的情况再对具体的旋涂曲线进行确定。